国度常识产权局信息夸耀，朗姆筹议公司苦求一项名为“在缺欠填充膜蚀刻技艺具有附近和原位钝化及硬掩模保护的原子层千里积”的专利，公开号CN122181220A，苦求日历为2024年11月。

专利纲领夸耀，本文公开触及本质具有原位钝化的等离子体增强原子层千里积(PEALD)以及在本质缺欠填充膜蚀刻时保护硬掩模的示例。一个示例提供了一种法子，其包括本质多个PEALD轮回以将膜千里积到缺欠中。每个PEALD轮回包括将膜前体引入惩处室，以将膜前体吸附到缺欠内的名义上，澳门人威尼斯中国官网登录入口然后清扫该室。PEALD轮回还包括在转动武艺中，使用包含响应物和附近剂的气体羼杂物造成等离子体，以将衬底泄漏于附近剂并将膜前体转动成缺欠内的膜。PEALD轮回还包括在转动武艺之后的钝化武艺中，将衬底泄漏于包含钝化剂的等离子体以从缺欠中的名义去除至少一些附近剂。

2026世界杯中国体彩官网入口

声明：阛阓有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资提出。

本文源自：阛阓资讯澳门人威尼斯中国官网登录入口

• 苦求
• 缺欠
• 筹议
• 朗姆